Система анализа газов высокой чистоты

Система анализа газов высокой чистоты GC - 9560 - HG предназначена для обнаружения следовых примесей в газах высокой чистоты и газах электронной промышленности с низкой концентрацией Z до 5 ppb. Прибор оснащен высокочувствительным детектором ионизации гелия с использованием технологии центральной резки компании Huari *, входные клапаны оснащены продувочным защитным газопроводом; Вся машина спроектирована с использованием многоцилиндровой коробки и оснащена автоматической системой коррекции давления входящего образца, которая обеспечивает поступление проб из различных образцов нижнего газа *. Продукция была удостоена Шанхайского проекта по преобразованию высокотехнологичных достижений класса А, Шанхайской ключевой новой продукции, Шанхайской программы факела и выдающейся продукции научного оборудования 2009 года.

GC-9560-HGСистема анализа газов высокой чистотыПодходит для обнаружения следовых примесей в газах с высоким содержанием чистого водорода, кислорода, аргона, азота, гелия, неона, криптона, ксенона, диоксида углерода и других газов, прибор оснащен высокочувствительным детектором ионизации гелия (PDHID), оснащен центральной технологией резки и обратного продувания, оснащен клапаном переключения проб с продувным защитным газом и очистителем импортируемого гелия, одноразовое завершение отбора проб без мертвого объема или с помощью онлайнового метода отбора проб₂、 O₂（Ar）、N₂、 CH₄、 CO、CO₂Типичные примеси или C₁-C₄Выявление изоуглеводородов, обнаружение до уровня ppb, повторяющийся RSD 1%.

Национальный стандарт GB / T 28726 - 2012 « Газоанализация гелиевой ионизированной газовой хроматографии», основной редакционной задачей которого является Huari хроматография, был официально введен в действие с 1 февраля 2013 года.

I. Применимые критерии:

GB / T3634.2 - 2011 Чистый водород, высокочистый водород и сверхчистый водород GB / T 14599 - 2008 Чистый кислород, высокочистый кислород и сверхчистый кислород
GB / T 8979 - 2008 "Чистый, высокочистый и сверхчистый азот" GB / T 4842 - 2006 "Аргон"
GB / T 4844 - 2011 "Чистый гелий, высокочистый гелий и сверхчистый гелий" GB / T 17873 - 1999 "Чистый неон"
GB / T 5829 - 2006 Криптон GB / T 5828 - 2006 Ксенон
HG / T 3633 - 1999 "Чистый метан" GB 10621 - 2006 "Жидкий углекислыйгаз для пищевых добавок"
GB / T 23938 - 2009 "Высокочистый углекислыйгаз" GB / T 2812.51 - 2011 "Измерение опасных веществ в процессе разделения воздуха"

II. Технические параметры:

1, Предел обнаружения (ppb):

Общие примеси
Виды товаров	H2	O2（Ar)	N2	CH4	CO	CO2
БАБ	5	10	10	5	25	5

Углеводороды
Виды примесей	C2H4	C2H6	C3H6	C3H8	C4H8	C4H10	iC4H10
БАБ	20	20	20	20	20	20	20

2.Показатели контроля температуры:

• Столбцы: 8°C - 400°C при комнатной температуре с точностью ±0,1°C
• Пробиратель: 8°C - 400°C при комнатной температуре с точностью ±0,1°C
• Детектор: 8°C - 400°C при комнатной температуре с точностью ±0,1°C
• Количество контроля температуры: восемь путей
• Программное потепление: восьмой порядок
• Скорость нагрева: 1°C ~ 40°C
• Скорость охлаждения: в пределах 7 минут (от 350 °C до 50 °C)

Детектор ионизации гелия (PDD):

• Режим разряда: импульсный разряд
• Базовый шум: 0,1 мв
• Исходный дрейф: 0,5mv / 30min
• Предел обнаружения: 1,0 × 10 - 10 г / мл

4. Газоочиститель:

• Очищаемый газ: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
• Рабочее давление Zui: 1000Psi
• Удаление газа: H₂、 O2, N2, CO, CO2, CH4, H2O, NO, NH3, CF4 и т.д.
• Остаточная концентрация: 10 ppb

5 Функциональность рабочей станции:

• Интерфейс связи: интерфейс RS232 / USB
• Высокая точность: 24 - разрядная высокоточная A / D
• Разрешение: ±1uv
• Входной диапазон уровней: от - 5mv до + 1v
• Частота отбора проб: Zui до 20 раз в секунду
• Динамический диапазон: 106
• Интегрированная чувствительность: 1 мкв • сек
• Линейность: < ±0,1%.
• воспроизводимость: 0,06%.

6, Другие параметры: размер, вес, питание:

• Размер: ширина 655 мм × высота 500 мм × глубина 480 мм
• Вес: ~ 48 кг
• Источник питания: 220 В ± 22 В, 50 Гц, мощность ≥ 2 кВт

III. Конфигурация системы:

(1) Система анализа газов высокой чистоты GC - 9560 - HG (2) детектор ионизации гелия (PDHID)
(3) Централизованная система резки (4) Многоколонная коробная система
(5) Очиститель гелия (6) Стандартный газ
(7) хроматографическая колонна (9) Система адсорбции и восстановления кислорода
(10) Специальный редукторный клапан для нагнетания газа (11) Специальный пробоотборный клапан без мертвого объема
(12) Рабочие станции с обратной хроматографией GC - 9560V4.0