Микроскопическая система измерения кислорода на уровне ppm для процесса термообработки полупроводников

Немецкая микрокислородная система MESAТехнология термообработки, предназначенная для производства полупроводников.

Немецкая микрокислородная система MESAЭто прецизионная система, которая извлекает газ в специальную измерительную камеру, а затем измеряет микрокислород при стабильной контролируемой температуре с помощью зонда Lambda, который может выводить аналоговые сигналы, соответствующие содержанию кислорода в ppm.

Измерение: 0... 5 / 10 / 100 / 10000 ppm

Точность: ±1% FS

Преимущество: Четырехточечная коррекция

Выход: 0 (4)... 20mA или 0... 10V

Место происхождения: Германия (ISO 9001: Сертификация 2015)

Применимая отрасль: полупроводники

Основной клиент: Mattson

Немецкая микрокислородная система MESAИспользуя конструкцию зонда оксида циркония (зонд Lambda), который может поддерживаться при постоянном измерении 600 °C, без влияния температуры в печи, зонд Lambda работает в стабильном состоянии, имеет более длительный срок службы, чем другие аналогичные продукты, фактический срок службы может достигать 10 лет;

Немецкая микрокислородная система MESAКаждый зонд Lambda имеет свой уникальный коэффициент дрейфа нуля K1 и коэффициент температурной компенсации K2, что делает измерительный сигнал интеллектуального источника питания более точным.Измерения и типы вывода могут быть выбраны. Результаты измерений также могут быть подключены к верхней машине через интерфейсы, такие как RS232 / RS485, для достижения функции централизованного управления.